Модернизация устройства распыления материала катода вакуумной установки
Bibliographic entry
Мацкевич, Э. П. Модернизация устройства распыления материала катода вакуумной установки / Э. П. Мацкевич ; науч. рук. С. А. Иващенко // Инновационные технологии и образование : материалы международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2022 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – Ч. 2. – С. 374-377.
Abstract
В данной статье рассматривается проблема неравномерного нанесения покрытия. Предложено использовать специальные конические
экраны для решения данной проблемы. Выявлены оптимальные размеры экрана и расстояние откатода, при котором достигаются
наилучшие результаты.