Низкотемпературный синтез топких пленок карбида кремния
Bibliographic entry
Кругленя, И. А. Низкотемпературный синтез топких пленок карбида кремния / И. А. Кругленя, А. В. Ковалевская // Новые направления развития приборостроения : материалы 6-й Международной студенческой научно-технической конференции, 24-26 апреля 2013 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 139.