Исследование тонкопленочной системе Ge-Ti-Ge после стационарного отжига плазмой дугового разряда
| dc.contributor.author | Мычко, М. Е. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-10-24T11:18:30Z | |
| dc.date.available | 2022-10-24T11:18:30Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Мычко, М. Е. Исследование тонкопленочной системе Ge-Ti-Ge после стационарного отжига плазмой дугового разряда / М. Е. Мычко, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 6-й Международной студенческой научно-технической конференции, 24-26 апреля 2013 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 147. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/121277 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Исследование тонкопленочной системе Ge-Ti-Ge после стационарного отжига плазмой дугового разряда | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
