Контроль топографии и трибологических параметров проводящих поверхностей методом ACM
Bibliographic entry
Тарендь, М. В. Контроль топографии и трибологических параметров проводящих поверхностей методом ACM / М. В. Тарендь, Т. А. Кузнецова // Новые направления развития приборостроения : материалы 6-й Международной студенческой научно-технической конференции, 24-26 апреля 2013 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 166.