Оптическая методика оценки дефектов тонких пленок
Bibliographic entry
Забавская, М. Ф. Оптическая методика оценки дефектов тонких пленок / М. Ф. Забавская, Е. А. Майкова, Д. А. Котов // Новые направления развития приборостроения : материалы 2-й Международной студенческой научно-технической конференции (22-24 апреля 2009 г.) / редкол.: В. Л. Соломахо [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 167.