Применение HIGH-K диэлектриков при формировании КМОП ИС
Bibliographic entry
Муха, Е. В. Применение HIGH-K диэлектриков при формировании КМОП ИС / Е. В. Муха, А. Г. Черных // Новые направления развития приборостроения : материалы 2-й Международной студенческой научно-технической конференции (22-24 апреля 2009 г.) / редкол.: В. Л. Соломахо [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 172.