Селективное осаждение плёнок меди в металлизации ИС
Bibliographic entry
Овсяник, А. А. Селективное осаждение плёнок меди в металлизации ИС / А. А. Овсяник, А. Г. Черных // Новые направления развития приборостроения : материалы 2-й Международной студенческой научно-технической конференции (22-24 апреля 2009 г.) / редкол.: В. Л. Соломахо [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 173.