Влияние состава рабочего газа на характеристики плёнок SiO2, полученных реактивным ионно-лучевым распылением
| dc.contributor.author | Некрасов, П. В. | ru |
| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-10-26T11:01:12Z | |
| dc.date.available | 2022-10-26T11:01:12Z | |
| dc.date.issued | 2009 | |
| dc.identifier.citation | Некрасов, П. В. Влияние состава рабочего газа на характеристики плёнок SiO2, полученных реактивным ионно-лучевым распылением / П. В. Некрасов, Е. В. Телеш // Новые направления развития приборостроения : материалы 2-й Международной студенческой научно-технической конференции (22-24 апреля 2009 г.) / редкол.: В. Л. Соломахо [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 175. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/121784 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Влияние состава рабочего газа на характеристики плёнок SiO2, полученных реактивным ионно-лучевым распылением | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
