Оборудование для реализации технологического процесса нанесения защитных и упрочняющих тонкопленочных кремнийсодержащих покрытий

dc.contributor.author	Голозубов, А. Л.
dc.coverage.spatial	Минск	ru
dc.date.accessioned	2022-11-29T06:36:08Z
dc.date.available	2022-11-29T06:36:08Z
dc.date.issued	2006
dc.identifier.citation	Голозубов, А. Л. Оборудование для реализации технологического процесса нанесения защитных и упрочняющих тонкопленочных кремнийсодержащих покрытий / А. Л. Голозубов // Инженер-механик. – 2006. – № 1. – С. 21-23.	ru
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/123107
dc.language.iso	ru	ru
dc.title	Оборудование для реализации технологического процесса нанесения защитных и упрочняющих тонкопленочных кремнийсодержащих покрытий	ru
dc.type	Article	ru