| dc.contributor.author | Ширяева, В. Д. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-12-28T10:51:51Z | |
| dc.date.available | 2022-12-28T10:51:51Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.identifier.citation | Ширяева, В. Д. Способы снижения уровня паров воды в подкорпусном объеме ИС = Measuring of the water content in integrated circuit package by using MKM-1 analyzer / В. Д. Ширяева, Е. Н. Щербакова // Приборостроение-2022 : материалы 15-й Международной научно-технической конференции, 16-18 ноября 2022 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 431-433. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/124654 | |
| dc.description.abstract | Представлены результаты исследования содержания воды в корпусах интегральных схем 401.14-5М и 4153.20 при различных способах отжига. Исследования производились с использованием масс-спектрометрического комплекса МКМ-1. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Способы снижения уровня паров воды в подкорпусном объеме ИС | ru |
| dc.title.alternative | Measuring of the water content in integrated circuit package by using MKM-1 analyzer | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| local.description.annotation | The results of the study of the water content in the housings of the integrated circuits 401.14-5М and 4153.20 under different annealing methods are presented. The studies were carried out using the mass spectrometric complex MKM-1. | ru |
