Особенности свойств кремния с последовательно легираванного примесными атомами фосфора и бора
dc.contributor.author | Аюпов, К. С. | ru |
dc.contributor.author | Мавлонов, Ғ. Ҳ. | ru |
dc.contributor.author | Усмонов, А. А. | ru |
dc.contributor.author | Абдуллажонов, А. М. | ru |
dc.contributor.author | Совуркулов, С. Т. | ru |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2023-01-20T12:11:41Z | |
dc.date.available | 2023-01-20T12:11:41Z | |
dc.date.issued | 2022 | |
dc.identifier.citation | Особенности свойств кремния с последовательно легираванного примесными атомами фосфора и бора / К. С. Аюпов [и др.] // Научные основы использования информационных технологий нового уровня и современные проблемы автоматизации : сборник трудов I Международной научной конференции, 25-26 апреля 2022 года / Ташкентский государственный технический университет имени Ислама Каримова ; Белорусский национальный технический университет ; Белорусско-узбекский совместный межотраслевой институт прикладных технических квалификаций в городе Ташкент ; Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека ; ред. А. М. Хусейнов. – Ташкент : Университет, 2022. – С. 310-312. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/125389 | |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БНТУ | ru |
dc.title | Особенности свойств кремния с последовательно легираванного примесными атомами фосфора и бора | ru |
dc.type | Working Paper | ru |