Влияние предварительно легированного германия на диффузию атомов марганца в кремнии
| dc.contributor.author | Зикриллаев, Н. Ф. | ru |
| dc.contributor.author | Исамов, С. Б. | ru |
| dc.contributor.author | Кушиев, Г. А. | ru |
| dc.contributor.author | Турсунов, О. Б. | ru |
| dc.contributor.author | Хуснитдинов, М. Ф. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2023-01-20T12:11:42Z | |
| dc.date.available | 2023-01-20T12:11:42Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.identifier.citation | Влияние предварительно легированного германия на диффузию атомов марганца в кремнии / Н. Ф. Зикриллаев [и др.] // Научные основы использования информационных технологий нового уровня и современные проблемы автоматизации : сборник трудов I Международной научной конференции, 25-26 апреля 2022 года / Ташкентский государственный технический университет имени Ислама Каримова ; Белорусский национальный технический университет ; Белорусско-узбекский совместный межотраслевой институт прикладных технических квалификаций в городе Ташкент ; Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека ; ред. А. М. Хусейнов. – Ташкент : Университет, 2022. – С. 312-315. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/125390 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Влияние предварительно легированного германия на диффузию атомов марганца в кремнии | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
