Разработка технологической оснастки цилиндрической магнетронной распылительной системы
Bibliographic entry
Мацкевич, Э. П. Разработка технологической оснастки цилиндрической магнетронной распылительной системы / Э. П. Мацкевич ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (25 ноября 2022 г.) : в 2 ч. / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – Ч. 2. – С. 68-71.
Abstract
В данной статье рассмотрены этапы проектирования технологической оснастки для цилиндрической МРС. Выбран материал мишени, ее форма и размеры. Также была спроектирована планетарная передача для осуществления вращения катода при статичной МРС.