Современные методы улучшения показателя равномерности толщины вакуумных покрытий
Bibliographic entry
Ралло, Ф. Н. Современные методы улучшения показателя равномерности толщины вакуумных покрытий / Ф. Н. Ралло ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (25 ноября 2022 г.) : в 2 ч. / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – Ч. 2. – С. 111-114.
Abstract
В данной статье рассматривается возможность повышения равномерности толщины формируемых покрытий вакуумными методами путем оптимизации конструкции вакуумной установки и технологических параметров процесса.