Последовательность разработки технологического процесса формирования вакуумных покрытий
Bibliographic entry
Сечко, И. А. Последовательность разработки технологического процесса формирования вакуумных покрытий / И. А. Сечко ; науч. рук.: В. М. Комаровская, С. Д. Латушкина // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (25 ноября 2022 г.) : в 2 ч. / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – Ч. 2. – С. 125-127.
Abstract
В данной статье описывается последовательность разработки технологического процесса формирования вакуумных покрытий, основанная на теоретических и практических исследованиях. Данный алгоритм может быть применим ко всем методам нанесения тонких пленок.