Технология осаждения покрытия на основе дисилицида молибдена методом магнетронного распыления для применения в оптических газоанализаторах
Bibliographic entry
Сечко, И. А. Технология осаждения покрытия на основе дисилицида молибдена методом магнетронного распыления для применения в оптических газоанализаторах / И. А. Сечко ; науч. рук.; В. М. Комаровская, В. М. Комаровская // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (25 ноября 2022 г.) : в 2 ч. / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – Ч. 2. – С. 127-130.
Abstract
В данной статье проводится анализ экспериментальных данных по нанесению покрытия дисилицида молибдена для оптических газоанализаторов. На его основе осуществляется подбор необходимых режимов и составляется технологический процесс.