Влияние пространственного распределения плотности плазменного потока холловского испарителя на формирование толщины и микрогеометрии поверхности вакуумно-плазменных конденсатов
Bibliographic entry
Влияние пространственного распределения плотности плазменного потока холловского испарителя на формирование толщины и микрогеометрии поверхности вакуумно-плазменных конденсатов / И. А. Иванов [и др.] // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: И. П. Филонов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : Технопринт, 2003. – Вып. 19. – С. 83-90.