Исследование процессов реактивного распыления тантал-алюминиевой составной мишени методом оптической эмиссионной спектроскопии
| dc.contributor.advisor | Голосов, Д. А. | ru |
| dc.contributor.author | Доан, Тхе Хоанг | ru |
| dc.contributor.author | Нгуен, Ван Ту Ань | ru |
| dc.contributor.author | Чан, Динь Ньат Хань | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2023-07-26T12:09:19Z | |
| dc.date.available | 2023-07-26T12:09:19Z | |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.identifier.citation | Доан, Тхе Хоанг. Исследование процессов реактивного распыления тантал-алюминиевой составной мишени методом оптической эмиссионной спектроскопии / Тхе Хоанг Доан, Ван Ту Ань Нгуен, Динь Ньат Хань Чан ; науч. рук. Д. А. Голосов // Интеллектуальные, сенсорные и мехатронные системы-2023 [Электронный ресурс] : сборник научных трудов (по материалам студенческих научно-технических конференций) / Белорусский национальный технический университет, Кафедра «Интеллектуальные и мехатронные системы» ; редкол.: В. М. Зайцев, В. А. Гулай, А. В. Дубовик ; сост. Е. А. Богданова. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 20-24. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/132264 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Исследование процессов реактивного распыления тантал-алюминиевой составной мишени методом оптической эмиссионной спектроскопии | ru |
| dc.type | Article | ru |
