Магнетронное распыление
Bibliographic entry
Погадаев, В. А. Магнетронное распыление / В. А. Погадаев ; науч. рук. В. М. Комаровская //Инновационные технологии и образование : материалы Международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2023 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Ю. А. Николайчик (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – Ч. 2. – С. 289-290.
Abstract
В данной статье автор описывает общие сведения о магнетронном распылении, проблемы и пути их решения.