Электрофизические свойства наноструктурированных покрытий TiAlSiN, TiAlSiCN для задач космического приборостроения
Another Title
Electrophysical properties of nanostructured TiAlSiN, TiAlSiCN coatings for space instrumentation problems
Bibliographic entry
Электрофизические свойства наноструктурированных покрытий TiAlSiN, TiAlSiCN для задач космического приборостроения = Electrophysical properties of nanostructured TiAlSiN, TiAlSiCN coatings for space instrumentation problems / С. В. Константинов [и др.] // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 234-235.
Abstract
Сформированы образцы нитридных и карбонитриных покрытий TiAlSiN, TiAlSiCN. Прове- дены измерения поверхностного R и удельного Rуд сопротивления нитридных и карбонитридных покры- тий TiAlSiN, TiAlSiCN четырехзондовым методом при помощи цифрового прибора ИУС-3. Установлено, что все сформированные покрытия нитрида TiAlSiN и карбонитрида TiAlSiN с добавлением кремния Si имеют небольшие значения поверхностных сопротивлений R = 4,2–37,5 Ом/ и являются проводящими. Сформированные методом реактивного магнетронного напыления покрытия могут использоваться в качестве износостойких электропроводящих покрытий в авиационном и космическом приборостроении.
Abstract in another language
Samples of nitride and carbonitride TiAlSiN, TiAlSiCN coatings were formed. The surface R and specific ρ resistivity of nitride and carbonitride coatings TiAlSiN, TiAlSiCN were measured by the fourprobe method using the IUS-3 digital device. It was found that all formed coatings of TiAlSiN nitride and TiAlSiN carbonitride with the addition of silicon Si are conductive and have small values of surface resistances R = 4.2–37.5 Ohms/ . Coatings formed by the method of reactive magnetron sputtering can be used as wearresistant electrically conductive coatings in aviation and space instrumentation.