Электронный парамагнитный резонанс в облученных ионами дейтерия и отожженных при температуре 1665 °C пленках CVD алмаза
Another Title
Electron paramagnetic resonance in CVD diamond films irradiated with deuterium ions and annealed at a temperature of 1665 °C
Bibliographic entry
Электронный парамагнитный резонанс в облученных ионами дейтерия и отожженных при температуре 1665 °C пленках CVD алмаза = Electron paramagnetic resonance in CVD diamond films irradiated with deuterium ions and annealed at a temperature of 1665 °C / А. Н. Олешкевич [и др.] // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 268-269.
Abstract
В работе рассмотрены особенности облучения ионами дейтерия пленок CVD алмаза и на основе анализа спектров ЭПР изучено влияние на их структуру и свойства последующего высокотемпературного отжига. Анализ полученных результатов позволил сделать выводы о природе дефектов и возможности создания на их основе, с участием ионов дейтерия, стабильных магнитоупорядоченных структур в пленках CVD алмаза, что имеет важное значение для дальнейшего развития и применения этих материалов.
Abstract in another language
The work examines the features of irradiation of CVD diamond films with deuterium ions, and based on the analysis of ESR spectra, the effect of subsequent high-temperature annealing on their structure and properties is studied. Analysis of the results obtained allowed us to draw conclusions about the nature of defects and the creation on their basis with the participation of deuterium ions of stable magnetically ordered structures in CVD diamond films, which is important for the further development and application of these materials.