Прецизионное лазерное разделение структур на пластинах сапфира
Another Title
Precision laser separation of structures onto leucosapphire wafers
Bibliographic entry
Петухов, И. Б. Прецизионное лазерное разделение структур на пластинах сапфира = Precision laser separation of structures onto leucosapphire wafers / И. Б. Петухов, Г. Е. Ретюхин // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 362-363.
Abstract
Проведены исследования и подбор технологических режимов лазерного скрайбирования пластин сапфира толщиной 100 мкм с использованием импульсного волоконного наносекундного лазера с длиной волны 355 нм и средней мощностью излучения 3 Вт и частотой следования импульсов 300 кГц для создания изделий электроники.
Abstract in another language
Studies and selection of technological modes of laser scribing of sapphire plates with a thickness of 100 microns using a pulsed fiber nanosecond laser with a wavelength of 355 nm and an average radiation power of 3 W and a pulse repetition frequency of 300 kHz for the creation of electronics products have been carried out.