| dc.contributor.author | Таратын, И. А. | ru |
| dc.contributor.author | Реутская, О. Г. | ru |
| dc.contributor.author | Горох, Г. Г. | ru |
| dc.contributor.author | Федосенко, В. С. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2023-12-21T07:32:25Z | |
| dc.date.available | 2023-12-21T07:32:25Z | |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.identifier.citation | Двухсенсорная газовая микросистема на наноструктурированной платформе для мониторинга окружающей среды = Dual-sensory gas microsystem on nanostructured platform for environmental monitoring / И. А. Таратын [и др.] // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 421-422. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/138607 | |
| dc.description.abstract | Представлены результаты исследований исследований электрофизических свойств и функциональных характеристик микросенсоров с металлоксидными газочувствительными слоями, изготовленных на подложках из нанопористого анодного оксида алюминия и тонких мембранах. Представленные результаты показали реальную перспективность изготовления маломощных тонкопленочных микросистем на нанопористых профилированных подложках для газоанализа, состоящих из нескольких микромощных сенсоров, которые обеспечивают регистрацию низких концентраций нескольких горючих или токсичных газов. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Двухсенсорная газовая микросистема на наноструктурированной платформе для мониторинга окружающей среды | ru |
| dc.title.alternative | Dual-sensory gas microsystem on nanostructured platform for environmental monitoring | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| local.description.annotation | The results of the electrical properties and functional characteristics studies of microsensors with metal oxide gas-sensitive layers manufactured on nanoporous alumina substrates and thin membranes are presented. The obtained results showed the real promise of low-power thin-film microsystems manufacturing on nano-porous profiled substrates for gas analysis, consisting of several micro-power sensors that provide registration of low concentrations of several flammable or toxic gases. | ru |
