Оценка прочностных параметров поверхности покрытий Zr(C)N
Another Title
Assessment of strength parameters of surface Zr(C)N coatings
Bibliographic entry
Оценка прочностных параметров поверхности покрытий Zr(C)N = Assessment of strength parameters of surface Zr(C)N coatings / А. В. Хабарова [и др.] // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 423-424.
Abstract
Методом наноцарапания определен критический коэффициент интенсивности напряжений (KIC) покрытий Zr(C)N. Покрытия осаждены на стальную подложку магнетронным методом при различной скорости потока ацетилена (от 0 до 6 см3/мин). Увеличение скорости потока ацетилена в камере от 0 до 1,5 см3/мин приводит к повышению критического коэффициента интенсивности напряжений на 18 %. Дальнейшее увеличение потока ацетилена до 6 см3/мин приводит к снижению критического коэффициента интенсивности напряжений, что коррелирует со снижающимися значениями физико-механических свойств и высокой шероховатостью поверхности.
Abstract in another language
The critical stress intensity factor (KIC) of Zr(C)N coatings was determined using the nanoscratch method. The coatings are deposited onto a steel substrate using the magnetron method at different acetylene flow rates (from 0 to 6 cm3/min). Increasing the acetylene flow rate in the chamber from 0 to 1,5 cm3/min leads to an increase in the critical stress intensity factor by 18 %. A further increase in the acetylene flow to 6 cm3/min leads to a decrease in the critical stress intensity factor, which correlates with decreasing values of physical and mechanical properties and high surface roughness.