Электромагнитные переключатели в микро- и нанотехнике
Another Title
Electromagnetic switches in micro- and nanotechnology
Bibliographic entry
Подвицкий, Н. В. Электромагнитные переключатели в микро- и нанотехнике = Electromagnetic switches in micro- and nanotechnology / Н. В. Подвицкий, К. С. Люцко // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 430-432.
Abstract
Целью работы является исследование устройства, назначения и типологии электромагнитных МЭМС-переключателей, теоретическое исследование проводилось методом анализа литературы и нормативных источников.
Abstract in another language
The purpose of the work is to study the design, purpose and typology of electromagnetic MEMS switches, theoretical research was carried out by analyzing literature and regulatory sources.