Чувствительные слои полиметилметакрила для емкостных датчиков температуры
Another Title
Sensitive layers of polymethylmethacrylate for capacitive temperature sensors
Bibliographic entry
Чувствительные слои полиметилметакрила для емкостных датчиков температуры = Sensitive layers of polymethylmethacrylate for capacitive temperature sensors / А. С. Баранова [и др.] // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 439-440.
Abstract
Разработаны емкостные датчики температуры с чувствительным слоем на основе полиметилметакрилата. Методом атомно-силовой микроскопии изучены топография поверхности пленок, нанесенных методом спин-коатинга, показана зависимость электрической емкости и модуля упругости сформированных покрытий от температуры.
Abstract in another language
Sensitive layers of polymethylmethacrylate for capacitive temperature sensors