| dc.contributor.author | Сидоркин, А. С. | ru |
| dc.contributor.author | Шевченко, А. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-02-20T06:58:56Z | |
| dc.date.available | 2015-02-20T06:58:56Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.identifier.citation | Сидоркин, А. С. Осаждение нитридов титана и кремния из газовой фазы / А. С. Сидоркин, А. А. Шевченко; науч. рук. Д. И. Медведев // Новые материалы и технологии их обработки : сборник научных работ XV Республиканской студенческой научно-технической конференции, 22–25 апреля 2014 г. : [посвящается памяти доктора техн. наук, профессора Худокормова Дмитрия Николаевича] / Н. И. Иваницкий. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 195 - 196. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/13999 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Осаждение нитридов титана и кремния из газовой фазы | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| dc.identifier.udc | 666.946 | ru |
| dc.relation.book | Новые материалы и технологии их обработки : сборник научных работ XV Республиканской студенческой научно-технической конференции, 22–25 апреля 2014 г. : [посвящается памяти доктора техн. наук, профессора Худокормова Дмитрия Николаевича] | ru |
