Автоматизация технологического процесса отжига кремниевых пластин
| dc.contributor.author | Гурский, Н. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2024-04-22T11:48:28Z | |
| dc.date.available | 2024-04-22T11:48:28Z | |
| dc.date.issued | 2020 | |
| dc.identifier.citation | Гурский, Н. Н. Автоматизация технологического процесса отжига кремниевых пластин / Н. Н. Гурский // Инновационные технологии, автоматизация и мехатроника в машино- и приборостроении [Электронный ресурс] : материалы VIII международной научно-практической конференции (Минск, 19 марта 2020 года) : в рамках выставки «Автоматизация, электроника – 2020» / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.] ; сост. А. Н. Дербан. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 118. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/142066 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Автоматизация технологического процесса отжига кремниевых пластин | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
