Разность резонансных частот МЭМС акселерометра при изменении геометрических параметров резонатора / А. И. Артемук [и др.] // Новые направления развития приборостроения : материалы 17-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17-19 апреля 2024 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев ...