Антонов, М. С. Лазерная обработка кремния для изготовления газовых сенсоров / М. С. Антонов, О. Г. Реутская // Новые направления развития приборостроения : материалы 17-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17-19 апреля 2024 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) ...