Изучение состава покрытий на основе Mo, осаждённых на кремний в условиях ионного ассистирования
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2003Publisher
Bibliographic entry
Барайшук, С. М. Изучение состава покрытий на основе Mo, осаждённых на кремний в условиях ионного ассистирования / С. М. Барайшук ; науч. рук. И. С. Ташлыков // НИРС-2003 : VIII республиканская научно-техническая конференция студентов и аспирантов, 9-10 декабря 2003 г., г. Минск : тезисы докладов : в 7 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев [и др.]. — Минск : БНТУ, 2003. – Ч. 2 : Энергетика. Приборостроение. Физика. – С. 167.