Лазерная обработка материалов при производстве изделий микроэлектроники
| dc.contributor.author | Войтюк, Д. М. | ru |
| dc.contributor.author | Россоловский, А. Ю. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2024-05-27T11:09:16Z | |
| dc.date.available | 2024-05-27T11:09:16Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.identifier.citation | Войтюк, Д. М. Лазерная обработка материалов при производстве изделий микроэлектроники / Д. М. Войтюк, А. Ю. Россоловский, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 17-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17-19 апреля 2024 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2024. – С. 117. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/143401 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Лазерная обработка материалов при производстве изделий микроэлектроники | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
