Формирование нанокристаллического слоя диоксида олова на кремнии с использованием лазерно-плазменного нанесения пленки металла с последующим двухстадийным отжигом
| dc.contributor.author | Роговая, И. С. | ru |
| dc.contributor.author | Мильчанин, О. В. | ru |
| dc.contributor.author | Комаров, Ф. Ф. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2024-05-27T11:09:28Z | |
| dc.date.available | 2024-05-27T11:09:28Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.identifier.citation | Роговая, И. С. Формирование нанокристаллического слоя диоксида олова на кремнии с использованием лазерно-плазменного нанесения пленки металла с последующим двухстадийным отжигом / И. С. Роговая, О. В. Мильчанин, Ф. Ф. Комаров // Новые направления развития приборостроения : материалы 17-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17-19 апреля 2024 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2024. – С. 173-174. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/143464 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Формирование нанокристаллического слоя диоксида олова на кремнии с использованием лазерно-плазменного нанесения пленки металла с последующим двухстадийным отжигом | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
