Измерительная система контроля полупроводниковых пластин СКАН-2013
| dc.contributor.author | Воробей, Р. И. | ru |
| dc.contributor.author | Гусев, О. К. | ru |
| dc.contributor.author | Жарин, А. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Тявловский, А. К. | ru |
| dc.contributor.author | Тявловский, К. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Свистун, А. И. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-03-16T08:14:04Z | |
| dc.date.available | 2015-03-16T08:14:04Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.identifier.citation | Измерительная система контроля полупроводниковых пластин СКАН-2013 / Р. И. Воробей [и др.] // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 54-56. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/14786 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Измерительная система контроля полупроводниковых пластин СКАН-2013 | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
