Разработать теоретические и технологические основы создания материалов и компонентов микро- и наносистемной техники

Abstract

Объектом исследования являются материалы, элементы и компоненты микро– и наносистемной техники. Цель работы – получение теоретических и прикладных результатов, разработка методик исследования и конструктивных решений в области создания новых материалов, элементов и компонентов микро– и наносистемной техники. В результате исследований были исследованы структуры и топографии поверхностных слоев МЭМС методом атомно–силовой микроскопии, создана конструкция новых типов полупроводниковых лазеров, преобразователей ионизирующих и оптических излучений, преобразователей солнечной энергии в электрическую, полупроводниковых солнечных термохолодильников, разработана технология фильтров и мембран на основе титана и его сплавов, разработано метрологическое обеспечение испытаний светотехнического оборудования.