Моделирование характеристик микромеханического газового сенсора с мембраной на основе пористого анодного оксида алюминия
Bibliographic entry
Белогуров, Е. А. Моделирование характеристик микромеханического газового сенсора с мембраной на основе пористого анодного оксида алюминия / Е. А. Белогуров, И. А. Таратын, В. В. Хатько // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 250-252.