Исследования по подбору материала и условий анодирования при изготовлении алюминиевых оснований с диэлектрическим слоем анодного Al2O3 для изделий микро- и наноэлектроники
Bibliographic entry
Литвинович, Г. В. Исследования по подбору материала и условий анодирования при изготовлении алюминиевых оснований с диэлектрическим слоем анодного Al2O3 для изделий микро- и наноэлектроники / Г. В. Литвинович // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 342-344.