Импульсная фотонная обработка для формирования силицидов платины для СБИС
| dc.contributor.author | Маркевич, М. И. | ru |
| dc.contributor.author | Чапланов, А. М. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-03-24T07:45:55Z | |
| dc.date.available | 2015-03-24T07:45:55Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.identifier.citation | Маркевич, М. И. Импульсная фотонная обработка для формирования силицидов платины для СБИС / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 352-354. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/15195 | |
| dc.description.abstract | В данной работе исследовалось изменение температуры от времени в системе Pt/Si при импульсной фотонной обработке излучением ксеноновых ламп, что необходимо для выбора режимов синтеза силицида платины. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Импульсная фотонная обработка для формирования силицидов платины для СБИС | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
