Создание высокосовершенных и высокочистых структур кремния
| dc.contributor.author | Оджаев, В. Б. | ru |
| dc.contributor.author | Челядинский, А. Р. | ru |
| dc.contributor.author | Садовский, П. К. | ru |
| dc.contributor.author | Турцевич, А. С. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-03-24T07:54:20Z | |
| dc.date.available | 2015-03-24T07:54:20Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.identifier.citation | Создание высокосовершенных и высокочистых структур кремния / В. Б. Оджаев [и др.] // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 358-360. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/15198 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Создание высокосовершенных и высокочистых структур кремния | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
