Разработка двухсенсорной газовой микросистемы на подложках из пористого анодного оксида алюминия
| dc.contributor.author | Реутская, О. Г. | ru |
| dc.contributor.author | Таратын, И. А. | ru |
| dc.contributor.author | Хатько, В. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-03-24T08:00:35Z | |
| dc.date.available | 2015-03-24T08:00:35Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.identifier.citation | Реутская, О. Г. Разработка двухсенсорной газовой микросистемы на подложках из пористого анодного оксида алюминия / О. Г. Реутская, И. А. Таратын, В. В. Хатько // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 362-364. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/15201 | |
| dc.description.abstract | Целью работы является разработка конструкции и технологии изготовления, а также исследование 2-х сенсорной газовой микросистемы на диэлектрической подложке из пористого анодного оксида алюминия. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Разработка двухсенсорной газовой микросистемы на подложках из пористого анодного оксида алюминия | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
