Формирование пленок оксинитрида кремния реактивным ионно-лучевым распылением кварца
Bibliographic entry
Телеш, Е. В. Формирование пленок оксинитрида кремния реактивным ионно-лучевым распылением кварца / Е. В. Телеш // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 392-394.