Исследование дефектов анодного оксида алюминия методами оптической микроскопии и сканирующей зондовой электрометрии
Another Title
Study of anode aluminum oxide defects with optical microscopy and scanning probe electrometry techniques
Bibliographic entry
Исследование дефектов анодного оксида алюминия методами оптической микроскопии и сканирующей зондовой электрометрии = Study of anode aluminum oxide defects with optical microscopy and scanning probe electrometry techniques / А. Л. Жарин, А. К. Тявловский, К. В. Пантелеев [и др.] // Приборостроение-2024 : материалы 17-й Международной научно-технической конференции, 26-29 ноября 2024 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : Интегралполиграф, 2024. – С. 50-52.
Abstract
Для исследования дефектности поверхности анодного оксида алюминия применен комплексный подход, включающий анализ пространственного распределения относительных значений работы выхода электрона и поверхностной фото-ЭДС методом сканирующего зонда Кельвина и подробное изучение дефектных областей методом оптической микроскопии. Сканирование поверхности образца электрометрическим зондом с низким пространственным разрешением обеспечивает быстрое предварительное выявление и локализацию областей скопления дефектов, тогда как оптическая микроскопия позволила определить конкретный вид выявленных дефектов.
Abstract in another language
The study of the anodic aluminum oxide surface defectiveness was performed with a comprehensive approach that included an analysis of the spatial distribution of the relative surface work function and surface photo-EMF using the scanning Kelvin probe combined with a detailed study of the defective areas with optical microscopy. Low-resolution scanning of the sample`s surface with an electrometric probe ensures rapid preliminary detection and localization of defective areas while optical microscopy made it possible to determine the specific type of defects found.