Влияние условий распыления и осаждения эмиссионного потока на адгезионную прочность карбида кремния
dc.contributor.author | Жук, А. Е. | ru |
dc.contributor.author | Ковалевская, А. В. | ru |
dc.contributor.author | Сагарда, Е. В. | ru |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2015-06-12T05:42:30Z | |
dc.date.available | 2015-06-12T05:42:30Z | |
dc.date.issued | 2013 | |
dc.identifier.citation | Жук, А. Е. Влияние условий распыления и осаждения эмиссионного потока на адгезионную прочность карбида кремния / А. Е. Жук, А. В. Ковалевская, Е. В. Сагарда // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 1. - Минск : БНТУ, 2013. - С. 307-308. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/17373 | |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БНТУ | ru |
dc.title | Влияние условий распыления и осаждения эмиссионного потока на адгезионную прочность карбида кремния | ru |
dc.type | Working Paper | ru |
dc.relation.book | Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 1 | ru |