Особенности формирования вакуумно-плазменных покрытий
Bibliographic entry
Мельник, Е. В. Особенности формирования вакуумно-плазменных покрытий / Е. В. Мельник; науч. рук. И. А. Иванов // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы VI Республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов БНТУ (66-й студенческой научно-технической конференции БНТУ), 22,23 апреля 2010 года. В 3 ч. Ч. 3 / ред. кол. С. А. Иващенко [и др.]. – Минск : БНТУ, 2011. – С. 87 - 89.
Abstract
Цель работы – изучить основные закономерности формирования плазменных потоков и их осаждение в вакуумных установках нанесения покрытий с холодным испаряемым катодом.