Плазменное легирование приборных структур многозарядными примесями
Bibliographic entry
Шадурская, Л. И. Плазменное легирование приборных структур многозарядными примесями / Л. И. Шадурская, Н. В. Яржембицкая // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 2. - Минск : БНТУ, 2013. - С. 189.