Формирование и диагностика тонких слоев силицидов металлов на кремнии для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров
| dc.contributor.author | Маркевич, М. И. | ru |
| dc.contributor.author | Чапланов, А. М. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-11-11T07:06:41Z | |
| dc.date.available | 2015-11-11T07:06:41Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Маркевич, М. И. Формирование и диагностика тонких слоев силицидов металлов на кремнии для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 3. - Минск : БНТУ, 2013. - С. 310. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/19244 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Формирование и диагностика тонких слоев силицидов металлов на кремнии для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| dc.relation.book | Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 3 | ru |
