Контроль качества исходных подложек, микроструктур и микросенсоров на основе визуализации поверхностного потенциала
| dc.contributor.author | Жарин, А. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Дубаневич, А. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2016-03-04T08:25:23Z | |
| dc.date.available | 2016-03-04T08:25:23Z | |
| dc.date.issued | 2015 | |
| dc.identifier.citation | Жарин, А. Л. Контроль качества исходных подложек, микроструктур и микросенсоров на основе визуализации поверхностного потенциала / А. Л. Жарин, А. В. Дубаневич // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 13-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2015. - Т. 2. - С. 177. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/21718 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Контроль качества исходных подложек, микроструктур и микросенсоров на основе визуализации поверхностного потенциала | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
