Browsing 2013 by Author "Щербакова, Е. Н."
Now showing items 1-1 of 1
-
Влияние импульсного фотонного отжига на структуру и фазовый состав тонкопленочных систем на основе кремния и переходных металлов
Маркевич, М. И.; Чапланов, А. М.; Щербакова, Е. Н. (БНТУ, 2013)Методами просвечивающей электронной микроскопии, электронографии и энергодисперсионного рентгеновского микроанализа проведены исследования элементного состава, закономерностей структурных и фазовых превращений, происходящих в тонкопленочных системах Si–Fe–Si и TiN–Ti–Si при импульсном фотонном отжиге в зависимости от плотности энергии облучения. Определены оптимальные параметры ...2013-12-06