Browsing №3 by Author "Аваков, С. М."
Now showing items 1-1 of 1
-
Методы автоматического контроля топологии планарных структур изделий электронной техники
Аваков, С. М.; Дрогун, Е. А.; Русецкий, В. А.; Титко, Д. С.; Титко, Е. А.; Шоломицкий, В. Г. (БНТУ, 2013)Приводится описание существующих методов автоматического контроля топологии планарных структур изделий микро- и наноэлектроники, других изделий электронной техники, дается их классификация. На основании анализа факторов, влияющих на принятие решения о выборе метода контроля топологии, определяется алгоритм выбора метода в зависимости от характеристик контролируемого объекта и ...2013-12-06