Исследование структуры, элементного состава и свойств нанокристаллических покрытий на основе нитрида титана, нанесенных методом контролируемого магнетронного распыления
Bibliographic entry
Бурмаков, А. П. Исследование структуры, элементного состава и свойств нанокристаллических покрытий на основе нитрида титана, нанесенных методом контролируемого магнетронного распыления / А. П. Бурмаков, Ф. Ф. Комаров, В. В. Пилько // Металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов. – Минск : БНТУ, 2011. – Вып. 33, ч. 2. - С. 96-101.